洁净实验室

    洁净室是半导体制造、精密加工行业、生命科学以及任何其他对环境污染高度敏感的领域的必需品。
    洁净室的范围可以从非常小到非常大。一方面，单个用户实验室可以按照几平方米的洁净室标准建造，另一方面，整个制造设施可以包含在工厂地板占地数千平方米的洁净室中。在大和小之间，还有模块化的洁净室。有人认为，他们降低了扩展技术的成本，并且不易受到灾难性故障的影响。在如此广泛的应用领域下，并非每个洁净室都是一样的。例如，半导体制造中使用的房间不必是无菌的（即没有不受控制的微生物）;[6]，而生物技术中使用的那些通常必须是。反之亦然，用于生物技术的那些不需要绝对纯净的纳米级无机盐，例如铁锈，而纳米技术绝对需要它。因此，所有洁净室的共同点是对空气中颗粒物的严格控制，可能对空气，表面，进入房间的工人，工具，化学品和机械进行二次净化。有时，离开隔室的颗粒物也值得关注，例如在对危险病毒的研究中，或者在处理放射性物质的地方。

      根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室：

     （1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（高效或亚高效）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。

    （2） 单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。

    （3） 矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形高效过滤器，也可以用普通高效过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。 洁净室的流型基本上是上述三种类型，但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型，以在局部区域（单向流部分）实现高级别的洁净室。例如，在洁净室中设水平单向流的“隧道”（一侧敞开），洁净室的其余部分是涡流的单向流流型，从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度，工作台就设在“隧道内”。

       按受控粒子的性质划分

    （1）工业洁净室：受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。

    （2）生物洁净室：受控粒子为生物粒子的洁净室。

      洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 ：

      （1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

      （2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

      （3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。 （4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。